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07
2022
-
09
氧化鋁陶瓷在半導體領域的應用以及制作工藝
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在半導體設備制造中，精密陶瓷作爲關鍵部件材料，扮演了重要角色。
在衆多陶瓷材料中，氧化鋁陶瓷（以Al2O3爲主體的陶瓷材料）具有材料結構穩定，機械強度高，硬度高，熔點高，抗腐蝕，化學穩定性優良，電阻率大，電絕緣性能好等優點，在半導體設備中應用廣泛。
目前的等離子晶圓刻蝕機腔室，主要采用高純氧化鋁（Al2O3）塗層或氧化鋁陶瓷作爲刻蝕腔體和腔體內部件的防護材料。等離子刻蝕腔體材料決定了晶圓的良率、質量、刻蝕工藝的穩定性等。
除了腔體以外，等離子體設備的氣體噴嘴，氣體分配盤和固定晶圓的固定環等也需用到氧化鋁陶瓷。
再例如在晶圓抛光工藝中，氧化鋁陶瓷可被廣泛應用于抛光板、抛光磨墊校正平台、真空吸盤等。
氧化鋁陶瓷機械手臂在半導體設備中起到搬運作用，它相當于半導體設備這個機器人的手，負責搬運晶圓矽晶片到指定位置。因爲晶圓矽晶片極其容易受到其他顆粒的汙染，所以一般在真空環境下進行。
氧化鋁陶瓷和碳化矽陶瓷都具備致密質、高硬度、高耐磨性的物理性質，以及良好的耐熱性能、優良的機械強度、高溫環境仍具有良好的絕緣性、良好的抗腐蝕性等物理性能，是用于制作半導體設備機械手臂的絕佳材料。
從材料性質來看，碳化矽陶瓷用于制作陶瓷機械手臂較爲合適，但是從材料價格、加工難度等經濟方面來說，氧化鋁陶瓷機械手臂的性價比更高。
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